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2.3无序薄膜高熵氮化物、范围碳化物、硼化物和氧化物薄膜沉积在硅、钢铁、Ti6Al4V合金、石英玻璃、WC-Co硬质合金基体上，从而制得高熵无序薄膜陶瓷。
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